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JX-HiPIMS-Max
峰值功率4MW，帶點火電壓與反向電壓，電流呈方波，極大提升沉積速率與膜層性能。
參數(shù)指標(biāo)
輸入指標(biāo)
指標(biāo) 參數(shù)
電壓范圍 265VAC ～ 475VAC 三相五線制VAC
頻率范圍 45Hz ～ 66Hz
輸出指標(biāo)
指標(biāo) JX-HiPIMS-Pro-20 JX-HiPIMS-Pro-40 JX-HiPIMS-Max
輸出脈沖電壓
  • 脈沖工作電壓-200V ～ -1000V可調(diào)
  • 反向電壓+200V ~ +400V可調(diào)。反向電壓可顯著提升沉積速率和離子能量
  • 脈沖工作電壓-200V ～ -2000V可調(diào)
  • 反向電壓+200V ~ +400V可調(diào)。反向電壓可顯著提升沉積速率和離子能量
  • 輸出電壓 -400V ～ -2000V，+50V ~ +750V，其中:
  • 工作電壓-200V ～ -1000V可調(diào)
  • 點火電壓-200V ～ -1000V可調(diào)
  • 反向電壓+50V ~ +750V反向電壓可顯著提升沉積速率和離子能量
輸出脈沖峰值電流 0 ～ 1000A 0 ～ 2000A 0 ～ 2000A
輸出平均/峰值功率 20KW/2MW 40KW/4MW 40KW/4MW
荷靶模式
  • 單靶
  • 孿生靶
  • 單靶，單靶x2
  • 孿生靶，孿生靶x2
  • 單靶
  • 孿生靶
占空比 0.5% ～ 40%
輸出頻率 200Hz ~ 5000Hz可調(diào)
脈沖寬度 3μs ～ 100us
電流上升時間 ＜3μs
注：視點火電壓和負(fù)載阻抗而定
工作模式 恒壓、恒流、恒功率、PT動態(tài)模式(僅Max版)
抑弧方式 獨家設(shè)計微分法檢測
動態(tài)弧能量跟蹤
可編程弧參數(shù)設(shè)置
弧能量控制在＜0.2mJ/KW
電源效率 峰值效率≈96.3%
其他
指標(biāo) 參數(shù)
THD(諧波失真) <5%(50% ～ 100%負(fù)載)
功率因數(shù) > 99%
通訊接口 RS-485， 以太網(wǎng)
通訊協(xié)議 modbus(標(biāo)配)，Profibus(選配)，EtherCAT(選配)
散熱 風(fēng)冷、水冷混合
MTBF (平均無故障間隔時間) ≥100000H
電源保護(hù) 過壓、過流、過荷、功率器件損壞、電源過熱、負(fù)載過熱、門禁、工作連鎖
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